表征与分析
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设备名称：薄膜应力计设备型号：FLX-2320厂 家：TOHO设备编号：12030409设备分类：表征与测试设备功能简介：在硅片等基板上附膜时，由于基板和薄膜的物理定数有异，产生…
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设备名称：台阶仪（P17）设备型号：P17厂 家：KLA Tencor设备编号：A19000056设备分类：表征与分析设备功能简介：兼容8英寸及以下尺寸wafer；薄膜厚度测量；区域轮廓扫描…
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设备名称：表面轮廓仪设备型号：Dektak 150厂 家：Veeco设备编号：A14000012设备分类：表征与分析设备功能简介：此设备为探针式表面轮廓仪，主要应用于薄膜厚度测量、样…
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设备名称：数字全息显微镜设备型号：DHM R2104厂 家：Lyncee Tec设备编号：19010239设备分类：表征与分析设备功能简介：数字全息显微镜通过CCD相机拍摄记录含有被观测样…
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设备名称：金相显微镜设备型号：MX51厂 家：Olympus设备编号：11001102设备分类：表征与分析设备功能简介：用于观察金属和矿物等不透明物体金相组织的显微镜。设备性能指…
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设备名称：椭圆偏振光谱仪设备型号：UVISEL厂 家：Horiba Jobin Yvon设备编号：10013202设备分类：表征与分析设备功能简介：椭偏仪是一种探测薄膜厚度、光学常数以及材料…
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设备名称：台阶仪设备型号：P7厂 家：KLA-Tencor设备编号：21012469设备分类：表征与分析设备功能简介：台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器。当触针沿被测表面轻轻滑过时…
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设备名称：FIB聚焦离子束系统设备型号：Helios 5 UC厂 家：Thermo Fisher设备编号：A21000028设备分类：表征与分析，刻蚀设备功能简介：该设备是同时具备聚焦离子束和扫…
