设备名称：台阶仪

设备型号：P7

厂 家：KLA-Tencor

设备编号：21012469

设备分类：表征与分析

设备功能简介：

台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器。当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时，还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。台阶仪测量精度较高、量程大、测量结果稳定可靠、重复性好，此外它还可以作为其它形貌测量技术的比对。

设备性能指标：

1、垂直分辨率在1埃以内，可测量台阶高度范围0-327μm；横向分辨率在0.1μm以内（2μm探针）；

2、最小探针作用力0.5mg；

3、垂直重复性：4 埃,1um台阶标样；

4、探针针尖半径：2μm；

5、俯视光学系统5M像素彩色CCD，4X变焦；

6、样品台XY移动距离150mm；真空吸附样品台。

设备物理位置：

微纳加工中心111实验室

设备预约方法：

通过清华大学仪器共享服务平台在线预约使用。

工程师联系方式：

苏鑫：010-62784044转220，sux@mail.tsinghua.edu.cn