设备名称：台阶仪（P17）

设备型号：P17

厂 家：KLA Tencor

设备编号：A19000056

设备分类：表征与分析

设备功能简介：

兼容8英寸及以下尺寸wafer；薄膜厚度测量；区域轮廓扫描；二维应力测量；可进行多点测试（最多20点）。

设备性能指标：

1、垂直分辨率在1Å以内，可测量台阶高度范围在160μm以内；横向分辨率在0.1μm以内（2μm探针条件下实现），单次扫描长度最大200mm（不拼接）；

2、最小探针作用力不高于0.5mg；

3、垂直重复性：4Å(1um台阶标样，采用2μm探针)；

4、探针尺寸2μm；

5、样品台XY移动距离200mm，真空吸附，自动旋转样品台。

设备物理位置：

微纳加工中心主超净间104实验室

设备预约方法：

通过清华大学仪器共享服务平台在线预约使用。

工程师联系方式：

魏治乾：19801221361，zhiqianwei@tsinghua.edu.cn

备注：

禁止测试含金、银、铜的物质。

样品最小尺寸20mm×20mm，最大兼容8英寸wafer。

台阶高度/膜厚测试可自主上机测试或者送样测试；薄膜应力测试/区域轮廓扫描仅接受送样测试。