设备名称：表面轮廓仪

设备型号：Dektak 150

厂 家：Veeco

设备编号：A14000012

设备分类：表征与分析

设备功能简介：

此设备为探针式表面轮廓仪，主要应用于薄膜厚度测量、样品表面形貌测量、表面粗糙度测量等。

设备性能指标：

1、用于测量薄膜台阶高度和粗糙度。可测量最小台阶高度为10～20nm，最大为524um；

2、垂直分辨率：1 Å（6.5um）、10 Å（65um）、80 Å（524um）；

3、扫描长度范围为50um～50mm；

4、载片台尺寸150×150mm（6 in.）；

5、最大样品厚度30mm。

设备物理位置：

微纳加工中心111实验室

设备预约方法：

通过清华大学仪器共享服务平台在线预约使用。

工程师联系方式：

苏鑫：010-62784044转220，sux@mail.tsinghua.edu.cn