设备名称：数字全息显微镜

设备型号：DHM R2104

厂 家：Lyncee Tec

设备编号：19010239

设备分类：表征与分析

设备功能简介：

数字全息显微镜通过CCD相机拍摄记录含有被观测样品表面形貌波前信息的全息图，再通过电脑从记录的每一帧全息图中实时解析重建提取出三维形貌。整个过程无需扫描，因此可以通过高速CCD相机配合电脑运算实时呈现样品表面二维、三维、四维形貌以及振动，称为四维动态形貌测试。数字全息显微镜精度高、速度快、测量结果稳定可靠、重复性好，在四维动态形貌和振动测试方面有着独一无二的优势，此外它还可以测量三维静态形貌以及作为其他形貌或振动测量技术的比对。

设备性能指标：

1、非接触光学无损测量，可记录样品的二维、三维、四维形貌；

2、静态垂直分辨率0.30nm；

3、MEMS振动四维测试，频率可达25MHz，无需扫描，同时测量面内和面外振动，面内振动最小可测1nm，面外振动最小可测0.5pm；

4、配有数据采集分析软件，供在线分析或试验后分析；

5、MEMS振动数据处理分析软件，供面内、面外振动跟踪，X、Y、Z三轴位移、速度、加速度分析，边缘和图形自动跟踪、多器件阵列分析、自动提取振动模态、谐振分析、频域分析等多种功能；

6、该设备配以空气为介质的物镜：2X，10X，20X，50X；

7、激光光源：666nm，794nm；

8、特别说明，此设备无油镜，不能测试液体内结构；不能测试液体厚度；不能测试厚玻璃下器件，且无加温设置。以上需求均需要特定的镜头。

设备物理位置：

微纳加工中心111实验室

设备预约方法：

通过清华大学仪器共享服务平台在线预约使用。

工程师联系方式：

苏鑫：010-62784044转220，sux@mail.tsinghua.edu.cn