设备名称：椭圆偏振光谱仪

设备型号：UVISEL

厂 家：Horiba Jobin Yvon

设备编号：10013202

设备分类：表征与分析

设备功能简介：

椭偏仪是一种探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。已知入射光的偏振态，偏振光在样品表面被反射，测量得到反射光的偏振态、幅度、相位，拟合得出材料的折射率、消光系数等光学常数信息。

设备性能指标：

1、用于测量光学薄膜厚度和光学参数；

2、可测量介质SiO₂、Si₃N₄、TiO₂、HfO₂、Ta₂O₅等光学薄膜以及多层膜的厚度与光学参数；

4、单层膜或者复杂多层膜的膜厚测量范围为1A～40um；

5、氙灯光源覆盖光谱范围：190nm～2100nm；

6、可放置的样品厚度范围：1mm～20mm；

7、样品台直径：150mm；

8、标准光斑尺寸：1mm×3mm。

设备物理位置：

微纳加工中心111实验室

设备预约方法：

通过清华大学仪器共享服务平台在线预约使用。

工程师联系方式：

苏鑫：010-62784044转220，sux@mail.tsinghua.edu.cn