设备名称：薄膜应力计

设备型号：FLX-2320

厂 家：TOHO

设备编号：12030409

设备分类：表征与测试

设备功能简介：

在硅片等基板上附膜时，由于基板和薄膜的物理定数有异，产生应力，进而引起基板变形。由涂抹均匀的薄膜引起的变形的表现为基板的翘曲，根据样片镀膜前后的表面曲率变化，TOHO FLX2320 –S可以精确的测量出薄膜应力的细微变化。

设备性能指标：

1、样品：4、5、6、8英寸晶圆片；

2、扫描速度：约25秒钟一片晶圆（50个点）；

3、应力范围：1 Mpa to 4×103 Mpa (如较短的扫描长度，应力范围上限的值可增加)；

4、可重复性：5 Mpa；

5、精确性：+/-5%。

设备物理位置：

微纳加工中心主超净间104实验室

设备预约方法：

通过清华大学仪器共享服务平台在线预约使用

工程师联系方式：

曹秉军: 62784044-220，caobj@tsinghua.edu.cn