光刻
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设备名称：光电所光刻机（LED）设备型号：URE-2000-35L厂 家：四川光电所设备编号：A18000071设备分类：光刻设备功能简介：光电所光刻机（LED）可实现正面对准、接近/接…
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设备名称：涂胶显影一体机设备型号：EVG120厂 家：EVG设备编号：24035784设备分类：光刻设备功能简介：用于8寸及6寸圆片的涂胶和显影工艺设备参数：1.8寸及6寸圆片；2.旋…
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设备名称：喷胶机设备型号：EVG101厂 家：EVG设备编号：25033160设备分类：光刻设备功能简介：适用于常规及带深槽结构的晶圆表面的光刻胶涂覆应用设备参数：8寸及4英寸晶…
