设备名称：喷胶机

设备型号：EVG101

厂 家：EVG

设备编号：25033160

设备分类：光刻

设备功能简介：

适用于常规及带深槽结构的晶圆表面的光刻胶涂覆应用

设备参数：

8寸及4英寸晶圆；

设备位置：

微纳加工中心主超净间 自强科技楼5101实验室

设备预约方法：

通过清华大学大型仪器共享服务平台在线预约使用

工程师联系方式：

付玉霞:15210647296,fuyuxia@mail.tsinghua.edu.cn