设备名称：光电所光刻机（LED）

设备型号：URE-2000-35L

厂 家：四川光电所

设备编号：A18000071

设备分类：光刻

设备功能简介：

光电所光刻机（LED）可实现正面对准、接近/接触式曝光功能。

曝光光源为LED光源，曝光模式可支持真空式接触和常规接触。对准方式为手动对准。

设备性能指标：

1、载片尺寸：6英寸、4英寸、3英寸、2英寸及碎片；

2、掩膜版尺寸：7英寸、5英寸、4英寸、3英寸；

3、最小分辨率：优于2.5mm（光刻胶厚度1μm）；

4、双目双视场显微镜物镜间距：25mm～105mm；

5、双CCD显微镜物镜间距：10mm～150mm；

6、曝光模式：真空接触、常规接触模式。

设备物理位置：

微纳加工中心主超净间104实验室

设备预约方法：

在清华大学仪器共享平台进行在线预约使用（用户需经过培训并由主管工程师进行授权）。

工程师联系方式：

付玉霞：15210647296，fuyuxia@mail.tsinghua.edu