设备名称：涂胶显影一体机

设备型号：EVG120

厂 家：EVG

设备编号：24035784

设备分类：光刻

设备功能简介：

用于8寸及6寸圆片的涂胶和显影工艺

设备参数：

1.8寸及6寸圆片；

2.旋涂均匀性≤±2％；

3.喷雾涂胶模式，喷胶均匀性：≤±10％；

4.显影模块，双组件喷雾显影；

5.热板/冷板模块兼容HMDS工艺

设备位置：

微纳加工中心主超净间 自强科技楼5101实验室

设备预约方法：

通过清华大学大型仪器共享服务平台在线预约使用

工程师联系方式：

付玉霞:15210647296,fuyuxia@mail.tsinghua.edu.cn