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设备介绍
化学机械平坦化
  • 化学机械抛光设备-华海清科
      设备名称：化学机械抛光-华海清科设备型号：Universal-150S厂家：华海清科设备分类：化学机械平坦化主要功能：全局平坦化专用设备。设备性能指标：1.Cu抛光速率≥700nm/m…
  • 化学机械抛光设备
      设备名称：化学机械抛光设备设备型号：6EC厂 家：Strasbaugh设备编号：17002191设备分类：化学机械平坦化设备功能简介：化学机械抛光设备是综合了机械抛光和化学腐蚀双重…
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