设备名称：化学机械抛光-华海清科

设备型号：Universal-150S

厂家：华海清科

设备分类：化学机械平坦化

主要功能：全局平坦化专用设备。

设备性能指标：

1.Cu抛光速率≥700nm/min

2.Barrier/Oxide抛光速率≥100nm/min

3.dishing≤30nmÅ

4.Si抛光速率≥800/min

5.粗糙度≤0.5nm

6.片内研磨速率均匀性≤3%

7.片间均匀性≤3%

8.样品尺寸：4寸、6寸、8寸

设备位置：

微纳加工中心主超净间 自强科技楼5101实验室

设备预约方法：

通过清华大学大型仪器共享服务平台在线预约使用

工程师联系方式：

尹长青：62784044-213，hkycq@tsinghua.edu.cn