清华大学微纳加工中心作为校级公共服务平台，服务学校迈向世界一流大学前列的建设目标，瞄准世界微纳加工领域技术前沿，是致力于在国内外基础性、前瞻性、特色性原创成果方面实现重大突破的开放性科研和教学实践育人平台。

中心以微纳尺度为特征，集设计、加工、测试为一体，具备高端先进的微纳加工测试环境。软硬件环境主要包括设计与仿真平台、工艺设备、测试设备三大类，其中微纳加工设备200余台套、测试设备60余台套、EDA软件100多种；具备氧化、化学气相沉积、物理气相沉积、化学机械抛光、光刻、电子束光刻、湿法刻蚀、干法刻蚀、封装与集成、检测与分析等全流程工艺能力。

微纳加工测试设备预约使用说明

清华大学微纳加工中心现有设备在调试完成后均对外开放使用，用户可在清华大学大型仪器共享服务平台（http://yqgx.tsinghua.edu.cn/）查阅设备相关信息并在线预约使用。

本实验室设备使用以用户自主上机为主、委托实验为辅，鼓励用户在通过培训后独立进行加工和测试。首次使用本实验室设备的用户请先与设备工程师联系，确认设备状态、样品要求等。

1、自主上机

（1）按实验室开放管理规定，成为实验室用户。

（2）联系设备工程师，进行设备培训，并通过相关考核，获得自主上机操作权限，并填写完成微纳加工中心设备培训与考核记录单。

（3）在清华大学大型仪器共享服务平台输入仪器名称，点击“找仪器”，找到对应的仪器后点击“上机预约”，预约机时，并在预约的时间完成实验。

2、委托实验

（1）请与设备工程师联系，确认送样要求及期望完成时间。

（2）在清华大学大型仪器共享服务平台输入仪器名称，点击“找仪器”，找到对应的仪器后点击“委托实验”，认真阅读“样品说明”，确认无误后，填写委托实验内容并提交。

因实验室设备繁多，个别设备的预约方法略有差异，请以清华大学微纳加工中心网站（http://tnf.ime.tsinghua.edu.cn）【开放服务】菜单下各设备介绍中公布的预约方式为准。

EDA软件使用说明

EDA软件（即电子设计自动化软件）对清华大学校内教学和科研用户开放使用。1、EDA软件对清华大学校内教学课程免费开放。教学用户申请EDA上机账号需填写《EDA教学上机登记表》，并由任课教师签字、开课院系盖章。

2、EDA软件对清华大学课题组科研用户采取有偿服务方式。使用本软件需签订《仪器设备开放服务协议书》，并交纳相应EDA软件使用费。收费按学校有关部门批复的收费标准执行，入学校财务。

3、EDA软件使用服务由EDA平台提供。如需使用，请联系EDA软件工程师办理相关手续。

详情咨询：010-62781090