工艺文档
-
2022-0817
设备名称：电子束光刻机设备型号：NB5机台写场拼接精度优于10nm，套刻精度优于10nm。单次曝光制备5nm图形结构
-
2022-0817
设备名称：扫描探针显微镜系统设备型号：DIMENSION ICON样品：热氧二氧化硅探针：Scanasyst-air测试模式：Scanasyst in air测试范围：500nm粗糙度：Rq 0.263nm样品表面粗…
-
2022-0817
设备名称：氦氖镓三束微纳离子显微镜设备型号：Orion NanoFab镓离子束图形刻蚀清华校徽
-
2022-0817
设备名称：氦氖镓三束微纳离子显微镜设备型号：Orion NanoFab镓离子束刻蚀微柱
-
2022-0817
设备名称：氦氖镓三束微纳离子显微镜设备型号：Orion NanoFab氖离子束诱导沉积钨纳米导线
-
2022-0817
设备名称：氦氖镓三束微纳离子显微镜设备型号：Orion NanoFab镓离子束抛光形貌图（结合SEM-EDS完成成分分析
-
2022-0817
设备名称：氦氖镓三束微纳离子显微镜设备型号：Orion NanoFab氦离子束诱导沉积Pt纳米柱阵列
-
2022-0817
设备名称：氦氖镓三束微纳离子显微镜设备型号：Orion NanoFab氖离子束刻蚀20nm线条形貌
