1、镓离子束图形刻蚀工艺案例

设备名称：氦氖镓三束微纳离子显微镜

设备型号：Orion NanoFab

镓离子束图形刻蚀清华校徽图

2、镓离子束刻蚀微柱工艺案例

设备名称：氦氖镓三束微纳离子显微镜

设备型号：Orion NanoFab

镓离子束刻蚀微柱图

3、氖离子束诱导沉积钨纳米导线工艺案例

设备名称：氦氖镓三束微纳离子显微镜

设备型号：Orion NanoFab

氖离子束诱导沉积钨纳米导线图

4、镓离子束抛光工艺案例

设备名称：氦氖镓三束微纳离子显微镜

设备型号：Orion NanoFab

镓离子束抛光形貌图（结合SEM-EDS完成成分分析）

5、氖离子束刻蚀工艺案例

设备名称：氦氖镓三束微纳离子显微镜

设备型号：Orion NanoFab

氖离子束刻蚀20nm线条形貌图

6、氦离子束诱导沉积Pt纳米柱阵列工艺案例

设备名称：氦氖镓三束微纳离子显微镜

设备型号：Orion NanoFab

氦离子束诱导沉积Pt纳米柱阵列图