设备名称：扫描探针显微镜系统
设备型号：DIMENSION ICON
样品：热氧二氧化硅
探针：Scanasyst-air
测试模式：Scanasyst in air
测试范围：500nm
粗糙度：Rq 0.263nm
样品表面粗糙度形貌图
