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2025/01/10
清华大学微纳加工中心2024年度用户大会暨“微纳世界”微观形貌表征大赛颁奖典礼成功举办
为促进微纳加工领域技术交流，加强用户沟通与合作，2025年1月8日下午13:00，清华大学微纳加工中心于清华大学自强科技楼2号楼集成电路学院2-206报告厅顺利举办了2024年度用户大会暨第六届“微纳世界”微观形貌表征大赛颁奖典礼。清华大学实验室管理处及集成电路学院相关领导、微纳加工中心专家委员会委员、第六届“微纳世界”微观形貌表征大赛承办单位嘉宾、赞助商代表，以及多所高校、研究所及相关企业的近百位专家学者和师生用...
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2025/06/23
清华大学微纳加工中心超净实验室搬迁通知
尊敬的各位用户：根据实验室建设规划，微纳加工中心新超净实验室（位于自强科技楼5号楼一层）已完成超净环境准备工作。现将搬迁工作安排通知如下：1、搬迁时间计划于2025年7月7日正式启动设备搬迁，采用两地同时运行方式，预计9月初完…
实验室安全培训及考核通知（2025年6月12日）
06/10
实验室安全培训及考核通知（2025年5月8日）
05/06
EDA平台春季学期支撑11门教学课程开展
04/30
微纳加工中心实验室开放日活动圆满举办
04/28
台式扫描电镜开放使用
04/28
清华大学微纳加工中心举办校庆日实验室开放活动
04/24
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培训视频
2023/10/25
高分辨场发射扫描电镜基本操作与参数选择…
本期培训高分辨场发射扫描电镜基本操作与参数选择。本次培训设备为ZEISS GeminiSEM 300型号电镜。该电镜配备高分辨二次电子探头（Inlen SE），普通二次电子探测器（ETSE）和背散射探头，以及能谱仪和光学导航定位…
2023/10/20
氦氖镓三束离子显微镜基础知识与基本操作…
氦氖镓三束离子显微镜可以根据需要对材料进行微纳米尺度的高分辨成像和精密加工。本次课程主要介绍氦氖镓三束离子显微镜的组成和基本操作。本次视频约为30分钟。如需使用该设备可在清华大学大型仪器共享服务平台网…
2023/10/20
氦氖镓三束离子显微镜基础知识与基本操作…
氦氖镓三束离子显微镜可以根据需要对材料进行微纳米尺度的高分辨成像和精密加工。本次课程主要介绍氦离子束显微镜的特点，以及中心现有的氦氖镓三束离子显微镜的特点和应用。本次视频约为20分钟。如需使用该设备可…
2023/07/01
EDA软件培训：Advanced Calibre Design S…
本培训课程将介绍最新的先进Calibre产品和解决方案，包括DRC/LVS recon, packaged PERC checks, new Interfaces等。培训内容包括： （1）SIEMENS EDA & Calibre overview （2）DRC/LVS recon （3）Reliability …
