​2022年12月，在大型仪器设备效益评价的基础上，经过院系审核推荐、专家函评、现场答辩以及专家组会评等环节，清华大学实验室管理处对《清华大学第三十五届大型仪器设备使用效益奖获奖名单》进行公示。在本届大型仪器设备效益奖评选中，微纳加工中心共7台设备获奖，其中3台设备获二等奖、4台设备获三等奖。