本期培训高分辨场发射扫描电镜基本操作与参数选择。

本次培训设备为ZEISS GeminiSEM 300型号电镜。该电镜配备高分辨二次电子探头（Inlen SE），普通二次电子探测器（ETSE）和背散射探头，以及能谱仪和光学导航定位。分辨率为0.7nm@15kV（二次电子），1.2nm@1kV（二次电子）。样品仓内部直径330mm，高270mm，最大可放置样品尺寸200mm。

基本操作培训视频约15分钟，参数选择培训视频约24分钟。

如需使用该设备可在清华大学大型仪器共享服务平台网页中搜索高分辨场发射扫描电镜（仪器编号：20009957）获取相关信息。