2026年1月16日，清华大学微纳加工中心在清华大学自强科技楼2号楼集成电路学院2-206报告厅举办了2025年度用户大会暨第七届“微纳世界”微观形貌表征大赛颁奖典礼。大会邀请了清华大学实验室管理处、集成电路学院领导、微纳加工中心专家委员会委员、第七届“微纳世界”微观形貌表征大赛承办单位嘉宾、赞助商代表出席，吸引了近百位高校、研究所、企业专家学者和师生参与。
开幕致辞
大会由微纳加工中心副主任伍晓明主持。他首先介绍了与会领导和嘉宾，并向全体参会师生致以热烈欢迎与诚挚感谢。
清华大学实验室管理处处长王玉军在开幕致辞中表示，微纳加工中心作为校级核心科研平台，在科研支撑中发挥着关键作用。中心创新的电子信息门牌系统、智能巡检机器人等举措，成为实验室安全管理示范标杆；连续成功举办的"微纳世界"大赛，生动展现了科学与艺术的融合之美。实验室管理处将持续支持校级平台发展，不断提升科研平台能力。
资产处副处长杨树国见证了微纳加工中心从建设到发展的历程。他表示，中心超净间与DIY实验室的建设完善凝聚了多方智慧与心血，诚挚欢迎更多学者带着科研需求来、满载创新成果归。 集成电路学 院党委书记蔡坚回顾了微纳加工中心的发展源头、建设背景，以及对人才培养和学科建设的支撑作用 ，衷心感谢各部处、专家学者及广大用户的大力支持，并期待 中心未来能为国家科技自立自强作出更大贡献。
年度工作报告
集成电路学院副院长、微纳加工中心主任唐建石作2025年度中心工作报告，围绕中心能力建设、开放服务及专项工作等三个方面重点汇报。
报告指出，2025年中心顺利完成超净实验室整体搬迁，新建超净实验室总面积达2000余平方米，其中千级洁净区1800平方米、百级洁净区270平方米。实验室配备200余台套先进设备，按工艺模块分区布局，并预留了未来发展所需的扩展空间。为促进学科交叉融合，中心新建了800余平方米万级DIY实验室，现面向全校师生开放申请使用。
新超净实验室布局概览
微纳加工中心构建了覆盖芯片设计、制造、封装、测试的全流程服务能力体系。2025年，中心新增20余台套8英寸先进工艺设备，并建成国产设备实训平台；同时持续开发近20项新工艺，涵盖光刻、刻蚀、物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）、封装等核心工艺模块及集成工艺流程。
微纳加工中心服务能力体系
2025年，微纳加工中心服务范围覆盖校内外336个课题组，为513项研究项目提供全方位支撑，累计开放服务机时达106861小时。在科研成果产出方面，中心有力支撑用户在Nature及其子刊、IEDM、VLSI等国际顶级期刊和会议上发表高水平论文60余篇，取得了一系列具有代表性的创新成果和重要技术突破。
中心支撑用户部分科研成果展示
在微纳加工测试领域，中心充分发挥平台优势，为集成电路学院、为先书院、未央书院、精密仪器系、材料科学与工程学院、自动化系、电子工程系、机械工程系及新雅书院等约20门本科生与研究生教学课程提供了有力支撑，授课学生达640余人。
《集成电路制造技术》工艺实验课学生制作的8英寸晶圆样品
中心全年累计接待国家部委领导、国内外兄弟院校师生、企业等参观访问1000余人次，展现了良好的示范效应与辐射影响力。
世界各地留学生参观交流
2025年，微纳加工中心在设备开放服务与科研创新方面取得新突破：共有10台设备获得清华大学大型仪器设备使用效益奖，首次获得2项一等奖；同时获批清华大学实验室创新基金项目4项，首次获批重点项目2项（全校重点项目总计14项）。
在实验室管理处的大力支持与指导下，中心积极推进电子门牌、智能巡检、安防及安全实操培训等安全管理项目建设，成功构建了一套体系化、智能化的实验室安全管理系统，为实验室安全高效运行提供了坚实保障。
实验室安全巡检机器人视频演示
2026年，微纳加工中心将加速完成新设备调试并全面开放运行，着力提升开放服务能力与设备利用率，深入研发基于8英寸设备的集成工艺流程，持续开发具有学科特色的创新工艺，大力引进高水平实验技术人才，多措并举提升平台综合服务能力。
特邀报告
大会特别邀请了微纳技术领域专家，共同探讨前沿技术进展与创新成果。材料学院宋成教授担任主持并介绍了报告嘉宾。
中国科学院微电子所副所长罗军聚焦先进逻辑器件技术这一前沿领域，从晶体管工艺演进历程出发，深入剖析了环栅晶体管（GAA）和互补场效应晶体管（CFET）的独特结构优势和最新研究进展，并就关键技术挑战提出了创新解决方案。 
罗军《GAA和CFET器件关键技术研究》
北京大学集成电路学院副院长王玮聚焦MEMS/微系统技术前沿，系统阐述了良率驱动的新型MEMS工艺建模范式，并深入介绍了基于机器学习的智能良率预测模型，全面展示了智能微纳制造作为未来技术发展的重要趋势。
王玮《MEMS/微系统技术工艺研发新范式思考》
茶歇期间，与会师生驻足参观大会海报展，通过近距离观摩与互动交流，沉浸式体验微纳技术的前沿创新成果与微纳世界大赛获奖作品的独特魅力。部分与会师生在大会间隙参观了位于自强科技楼5号楼一层的中心新超净实验室。
新超净实验室参观
Poster快闪与颁奖
Poster快闪活动作为特色学术交流形式，鼓励用户以创意海报为载体展示基于微纳加工中心完成的科研成果，旨在打造聚焦微纳器件与集成电路领域前沿创新的动态展示平台。本届活动共征集到15份高质量学术海报作品，经评审委员会严格遴选，由精密仪器系周斌教授现场宣布了获奖名单：一等奖1项、二等奖2项、三等奖3项。大会特邀嘉宾为获奖师生颁发荣誉证书。
用户成果海报颁奖合影
北方华创营销副总裁、科研行业发展部销售总经理王建良先生在致辞中表示，作为深耕半导体领域多年的企业，坚信创新是科技发展的基石。希望同学们在国产化替代的科技浪潮中勇立潮头、共筑国产半导体产业之基。
第七届“微纳世界”微观形貌表征大赛颁奖典礼
“微纳世界”微观形貌表征大赛自2019年以来，已成功举办七届，成为国内微观表征领域最具影响力的赛事之一。本届大赛由清华大学实验室管理处主办，北京市14所高校及科研院所的17家单位联合承办，并得到卡尔蔡司（上海）管理有限公司、慧创（北京）仪器设备有限公司、北方华创科技集团股份有限公司的赞助支持。赛事面向全国高校、科研院所及企业征稿，共收到有效投稿作品201件，充分展现了微纳技术领域的创新活力。
大赛设立技术组与艺术组分别评比，通过严格评审，各评选出一二三等奖及入围奖若干名。微纳加工中心副主任伍晓明宣布了获奖作品名单，并邀请大会嘉宾为获奖作者颁发荣誉证书。
第七届“微纳世界”微观形貌表征大赛-技术组获奖合影
第七届“微纳世界”微观形貌表征大赛-艺术组获奖合影
大赛一等奖获奖代表潘政麟、二等奖获奖代表施远宏作获奖报告。丰富的大赛作品展现了微纳技术在众多领域的广泛应用。
潘政麟《嫦娥5号月壤样品中的太阳耀斑径迹的多片层电子叠层衍射拍摄》
施远宏《二维Mg插层GaN超晶格的原子级应变与极性重构观测》
慧创（北京）仪器设备有限公司总经理王昭和卡尔蔡司（上海）管理有限公司区域销售经理赵生娜发表了致辞，肯定与中心的多年合作，祝福微纳加工中心和“微纳世界”大赛持续向好发展。
总结致辞
微纳加工中心主任唐建石在总结致辞中表示，用户大会是微纳加工中心年度工作的重要组成部分，既是对过去一年中心工作进展与成果的全面汇报，也是面向学术界与产业界征集宝贵意见建议的交流契机。衷心感谢所有老师同学和企业对中心工作的智慧贡献与资源协同，期待未来创造更多微纳技术领域的创新成果，共同见证中国在集成电路领域从技术追赶到标准引领的历史性跨越。
大会在一片热烈掌声中圆满闭幕。
奋楫扬帆 · 共赴芯程
2025年，正值微纳加工中心被认定为校级平台十周年之际，中心完成了超净实验室的整体搬迁与升级，满足了更高精度的集成电路工艺技术和微纳加工技术需求，奠定了国际一流实验室硬件基础。实验室的整体搬迁，不仅是一次物理空间转移，更是迈向新高度、开启新篇章的重要里程碑。愿我们凝心聚力，奋楫扬帆，共赴芯程。
