2025年，在清华大学第三十八届大型仪器设备使用效益奖评选中，微纳加工中心共有10台设备获奖，其中2台设备获得一等奖、4台设备获得二等奖、4台设备获得三等奖。

“清华大学大型仪器设备使用效益奖”每学年度评选一次，评选范围为教学、科研、公共实验服务用，且单价原值10万元以上仪器设备，评审指标包括上学年度仪器设备在使用机时、人才培养、新功能开发、设备管理、开放服务、典型成果及特色等方面。