清华大学微纳加工中心

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2024/03/05

凝“芯”聚力共赴新程 | 清华大学微纳加工中心2023年度大会圆满举行

律回岁晚冰霜少，春到人间草木知。在这天地归春的时节，清华大学微纳加工中心迎来了一年一度的年度盛会。微纳加工中心2023年度大会暨第五届“微纳世界”微观形貌表征大赛颁奖典礼于2024年3月1日在清华大学集成电路学院新楼（自强科技楼西北楼）二层报告厅举行。

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2024/04/10

实验室新增原子力显微镜一台

近日，微纳加工中心新增一台原子力显微镜（型号：Bruker DIMENSION ICON ）。该系统可以实现高精度三维形貌表征，XY方向分辨率为1nm（与探针选择相关），Z方向分辨率为0.1nm。样品台尺寸为200mm。除形貌表征外，系统还配备DCUBE-PFM、C…

培训视频

2023/10/25

高分辨场发射扫描电镜基本操作与参数选择…

本期培训高分辨场发射扫描电镜基本操作与参数选择。本次培训设备为ZEISS GeminiSEM 300型号电镜。该电镜配备高分辨二次电子探头（Inlen SE），普通二次电子探测器（ETSE）和背散射探头，以及能谱仪和光学导航定位…

2023/10/20

氦氖镓三束离子显微镜基础知识与基本操作…

氦氖镓三束离子显微镜可以根据需要对材料进行微纳米尺度的高分辨成像和精密加工。本次课程主要介绍氦氖镓三束离子显微镜的组成和基本操作。本次视频约为30分钟。如需使用该设备可在清华大学大型仪器共享服务平台网…

2023/10/20

氦氖镓三束离子显微镜基础知识与基本操作…

氦氖镓三束离子显微镜可以根据需要对材料进行微纳米尺度的高分辨成像和精密加工。本次课程主要介绍氦离子束显微镜的特点，以及中心现有的氦氖镓三束离子显微镜的特点和应用。本次视频约为20分钟。如需使用该设备可…

2023/07/01

EDA软件培训：Advanced Calibre Design S…

本培训课程将介绍最新的先进Calibre产品和解决方案，包括DRC/LVS recon, packaged PERC checks, new Interfaces等。培训内容包括：（1）SIEMENS EDA & Calibre overview （2）DRC/LVS recon （3）Reliability …