设备名称：X射线检测系统

设备型号：Finefocus_Cougar

厂 家：Finefocus

设备编号：11027004

设备分类：封装

设备功能简介：

X射线检测设备主要应用于检测和分析半导体器件、光电器件和其它材料内部结构和内部缺陷，可检测锡球空洞、空焊、短路以及焊点、IC金线等不良现象。

设备性能指标：

1.射线管为开管；

2.输出电压10～160KV；

3.最大功率64W；

4.最大靶功率10W；

5.焦点尺寸≤1um；

6.几何放大倍数≥1500；

7.数字平板探测器；

8.快速CT扫描。

设备位置：

微纳加工中心主超净实验室 自强科技楼5101实验室

设备预约方法：

通过清华大学大型仪器共享服务平台在线预约使用

工程师联系方式：

郑瑶:13811838182,zhengyao@mail.tsinghua.edu.cn