设备名称：离子束刻蚀机

设备型号：Ionfab300

厂 家：牛津

设备编号：16046524

设备分类：刻蚀

设备功能简介：

用于各种介质、金属刻蚀。

设备性能指标：

1、 操作方式：自动化操作；

2、 刻蚀尺寸：8英寸及以下；

3、 刻蚀机刻蚀方式：物理轰击；

4、 刻蚀精度：3微米以上；

5、 均匀性：小于5%；

6、 主要刻蚀介质： Au、Cu、Ag、Cr等材料。

设备物理位置：

微纳加工中心主超净间104实验室

设备预约方法：

通过清华大学仪器共享服务平台网上预约。

工程师联系方式：

李希有：13641166426，lxyou@tsinghua.edu.cn