设备名称：ESD闩锁测试系统

设备型号： HED-S5000R/HED-C5000R

厂 家：HANWA ELECTRONICIND.CO.,LTD

设备编号：18503446

设备分类：可靠性测试

设备功能简介：

模拟人体模式（HBM）、机器模式（MM）以及器件充电模式（CDM）对样品进行静电敏感度的测试，同时具备Latch up的测试功能。

设备性能指标：

1、 HBM脉冲电压：±10V～±8000V，电压步进：5V～8000V，测试最大pin脚数：128pin；

2、 MM脉冲电压：±10V～±4000V，电压步进：5V～4000V，测试最大pin脚数：128pin；

3、Latch up测试，电流脉冲：±5mA～±1000mA，电流步进：1mA～1000mA，电压脉冲：0V～±100V，电压步进：0.1V～100V，测试最大pin脚数：128pin；

4、CDM充电电压：0V～±4000V，电压步进：5V～4000V，最大pin脚数：1024pin。

设备物理位置：

荷清大厦高精尖中心实验室

设备预约方法：

随到随用，清华大学仪器共享服务平台预约优先使用。

工程师联系方式：

邓美静：62799552-1168，dengmeijing@mail.tsinghua.edu.cn