设备名称：手动探针台-Semishare SH-12

设备型号：Semishare SH-12

厂 家：森美协尔

设备编号：18026682

设备分类：模拟-数字电路测试

设备功能简介：

高速存储器wafer或封装后芯片的测连接晶圆与测试设备，开展电学测试。

设备性能指标：

1、12" 卡盘，采用中心吸附孔和多圈吸附环固定样品，均独立控制，中心吸附孔最小可以选择250微米；

2、卡盘平整度: 5μm， 标准卡盘可360度无间隙旋转，卡盘旋转微调+-15°，调节精度0.1°/4、卡盘X/Y轴无间隙移动，采用大手柄旋转控制，行程：12英寸X12英寸，移动精度：1um，并带锁死装置，可调节显微镜在 X-Y 平面2" x 2" 范围内移动，精度1微米（系统不包含显微镜）；

3、探针平台可以快速升降，行程 6mm并带自动锁定功能，探针平台可以上下微调，行程25mm，升降精度1um；

4、显微镜可以实现50～500倍连续可变，磁力吸附，带磁力开关，X-Y-Z 方向的移动行程分别为12mm，精度0.7 微米；

5、USB接口高清（500万像素）CCD。

设备物理位置：

荷清大厦高精尖中心实验室

设备预约方法：

随到随用，清华大学仪器共享服务平台预约优先使用。

工程师联系方式：

曹天天：62799552-1168，caott@mail.tsinghua.edu.cn

高旭：62799552-1168，xugao@tsinghua.edu.cn