设备名称：半导体特性分析系统-Keithley 4200A-SCS

设备型号：4200A

厂 家：美国吉时利仪器公司

设备编号：20001001

设备分类：模拟-数字电路测试

设备功能简介：

对半导体器件进行IV、CV等多种电学功能测试，常用于自动测试。

设备性能指标：

1、中功率I-V测试模块4个，电流前置放大器4个，脉冲I-V测试模块2个远端放大/切换模块4个，C-V测试模块1个；

2、最大电压源输出：210V；

3、电压源设定最小分辨率：5μV；

4、最大电流输出：100mA；

5、电流源设定最小分辨率：1.5fA；

6、电压测量范围：1μV-200V；

7、电流测量范围：0-100mA；

8、电流测量最小分辨率：0.01fA；

9、电流测量精度：10fA。

设备物理位置：

荷清大厦高精尖中心实验室

设备预约方法：

随到随用，清华大学仪器共享服务平台预约优先使用。

工程师联系方式：

高旭：62799552-1168，xugao@tsinghua.edu.cn