本期培训内容是《电子束光刻及操作技术培训》第二部分,培训视频约45分钟,包括以下5部分内容:
1.NB5电子束光刻机安全注意事项。
2.NB5电子束光刻机的操作。
3.样品位置坐标的获取。
4.编写、校验和运行程序。
5.查看log文件。
如需使用该设备可在清华大学大型仪器共享服务平台网页中搜索电子束光刻机(仪器编号:16041494)获取相关信息。