椭圆偏振光谱仪主要用来测量单层膜或者复杂多层膜的厚度和光学参数，膜厚测量范围为1Å-40μm，氙灯光源覆盖光谱范围为190nm-2100nm。本次课程主要包括椭圆偏振光谱仪的基本原理及设备介绍、设备基本操作、建立扫描模型及基本策略以及测量结果的判断和优化等。本次视频约为39分钟。

如需使用该设备可在清华大学大型仪器共享服务平台网页中搜索椭圆偏振光谱仪（仪器编号：10013202）获取相关信息。