为促进微纳加工领域技术交流，加强用户沟通与合作，2025年1月8日下午13:00，清华大学微纳加工中心于清华大学自强科技楼2号楼集成电路学院2-206报告厅顺利举办了2024年度用户大会暨第六届“微纳世界”微观形貌表征大赛颁奖典礼。清华大学实验室管理处及集成电路学院相关领导、微纳加工中心专家委员会委员、第六届“微纳世界”微观形貌表征大赛承办单位嘉宾、赞助商代表，以及多所高校、研究所及相关企业的近百位专家学者和师生用户参加了本次大会。
大会议程丰富，包括微纳加工中心2024年度工作报告、用户邀请报告、Poster快闪与评奖、第六届“微纳世界”微观形貌表征大赛颁奖等多个精彩环节。
开幕式
大会由清华大学微纳加工中心副主任王谦老师主持，介绍了与会领导和嘉宾，并对各位领导来宾表示热烈欢迎和诚挚感谢。
大会邀请实验室管理处副处长屠中华作开幕致辞。他表示，微纳加工中心已经组织举办了六届“微纳世界”微观形貌表征大赛，大赛规模和影响力越来越广，已经辐射到整个北京市，希望将来能够拓展成全国范围的、影响力更大的赛事。
清华大学实验室管理处副处长屠中华作开幕致辞
微纳加工中心年度工作报告
会上，清华大学微纳加工中心副主任伍晓明老师做了微纳加工中心年度工作报告，汇报了2024年微纳加工中心的最新进展和成果，包括实验室开放服务、能力升级、支撑教学和科研成果、宣传交流及实验室获奖等方面。
微纳加工中心年度工作报告-伍晓明
2024年，微纳加工中心全年保持7天24小时开放运行，为清华大学、北京大学、中科院及各研究所等330多个企事业课题组提供服务，支撑清华大学26个院系的教学和科研工作。
在微纳加工测试领域，全年开放服务总机时为131147小时，活跃用户862人，支撑17门教学课程开展，培训570人次。
在电子设计与仿真（EDA）领域，全年开放服务总机时为1096344人时，服务用户2700余人次，支撑22门教学课程开展。
微纳加工中心支撑200多项国家级、省部级和其他重要课题研究任务，部分科研用户在Nature、Science子刊、ISSCC等顶刊顶会发表高水平论文，取得了代表性成果和重要突破。
2024年，微纳加工中心引进了一批新设备、新技术，多次开展对外交流活动，全面加强实验室能力建设和队伍建设；获得清华大学实验室创新基金项目资助2项；获得清华大学十八届实验技术成果二等奖1项；获得清华大学第三十七届大型仪器设备使用效益奖14项（其中激光直写系统获得一等奖）。
新的一年，微纳加工中心将不断探索新技术、新方法，更好利用8英寸设备及工艺，进一步提升服务质量和水平，满足用户的多样化需求，稳步推进新形势下的实验室各项建设工作。
邀请报告
大会邀请了中国科学院微电子研究所罗庆研究员、北京超弦存储器研究院光刻首席科学家师江柳、清华大学电子工程系盛兴教授分别作邀请报告，内容涵盖了微纳加工技术的最新研究成果和发展趋势，为大家提供跨学科技术交流的平台。
《一种CMOS兼容的低矫顽场三方相铁电Hf(Zr)1+xO2材料》-罗庆
《光刻技术和工艺介绍》-师江柳
《面向神经科学的植入式微纳光电器件》-盛兴
Poster快闪与评奖
Poster快闪是微纳加工中心用户以海报方式展示基于微纳加工中心完成的一些科研工作和取得的成果。会上，精仪系周斌教授介绍了Poster海报展示的意义。北方华创人力资源部高校关系总监王铮先生致辞，表示希望通过产教融合，加强人才培养和技术合作，为装备产业的发展贡献一些力量。
北方华创王铮先生致辞
Poster海报展示旨在为用户提供微纳器件和集成电路方面最新成果和交流展示的平台。本环节中，投稿师生通过Poster快闪的方式介绍了各自课题组研究成果。大会嘉宾为Poster获奖用户代表颁奖，其中一等奖1名、二等奖2名、三等奖5名。
Poster海报展示
Poster快闪颁奖合影
第六届“微纳世界”微观形貌表征大赛颁奖典礼
第六届“微纳世界”微观形貌表征大赛由清华大学实验室管理处主办，北京市11所高校及科研院所的13家单位联合承办，由卡尔蔡司（上海）管理有限公司、北京中科科仪光电科技有限公司提供赞助，面向北京市所有高校、科研院所及企业征稿，旨在激发用户在微观形貌表征领域的探索精神和创新能力。本届大赛共收到投稿227件，创历史新高。
大赛分为技术组和艺术组分别进行评比，各设一等奖1名、二等奖4名、三等奖7名。大会宣布了大赛获奖名单和入围奖名单。大会嘉宾为技术组、艺术组获奖者颁奖。
第六届“微纳世界”微观形貌表征大赛-技术组获奖合影
第六届“微纳世界”微观形貌表征大赛-艺术组获奖合影
会上，中国科学院微电子所黄河意、北京理工大学靳帅沼、中国科学院物理研究所苏诺雨作为获奖代表作了获奖作品报告。蔡司业务拓展经理杨瑞女士发表致辞，并做了《蔡司多样化微纳加工解决方案》的报告，介绍了蔡司特色关联显微解决方案、蔡司实验室晶圆解决方案等多项内容。
第六届“微纳世界”微观形貌表征大赛获奖代表报告
蔡司 杨瑞女士《蔡司多样化微纳加工解决方案》报告
闭幕致辞
颁奖仪式后，清华大学集成电路学院副院长唐建石发表致辞。
清华大学集成电路学院副院长唐建石作闭幕致辞
唐老师表示，今年“微纳世界”大赛的来稿作品都很优秀，只是名额有限、“优中选优”。过去的一年，微纳加工中心十分重视与兄弟单位联系，互通有无，优势互补。在大会开幕前召开的微纳加工中心专家委员会上，委员会专家成员对中心工作和发展规划提出了很多宝贵建议，将有助于中心能力不断完善提升。同时，微纳加工中心的发展离不开各位老师同学和设备厂商的支持，对大家表示感谢，预祝大家新年快乐、万事如意！
总结展望
微纳加工中心年度用户大会暨微纳世界微观形貌表征大赛的成功举办，不仅回顾了微纳加工中心2024年度的总体工作、建设进展与开放服务成效，分享先进的微纳加工技术和表征方法，也为未来进一步发展奠定了基础。我们将继续致力于提升微纳加工中心的服务质量和创新能力，支持和鼓励用户开展前沿性的微纳加工技术研究，加强国内外合作交流，积极推动集成电路领域的科技创新和发展。
