2024 年 9 月 19 日至 20 日，在清华大学实验技术骨干国内短期研修与参观交流项目的支持下，微纳加工中心副主任伍晓明率一行六人，先后前往中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所及爱发科真空技术（苏州）有限公司展开参观交流。

9 月 19 日上午，微纳加工中心团队抵达苏州纳米所纳米真空互联实验站（Nano-X）。在 Nano-X 陆晓鸣副主任的讲解下，众人参观了 Nano-X 的内部全景，对其建设历程、研究成果及未来规划有了深入了解。随后，与实验站副主任李坊森、陆晓鸣及站内主要技术人员进行座谈。期间，微纳加工中心工程师高兆艳简要介绍了微纳加工中心及真空互联系统的整体情况。双方就真空互联系统的设备开放与管理、重难点技术问题以及设备维护等方面展开了深入交流。

  当日下午，在苏州纳米所纳米加工平台工艺部部长林文魁的带领下，微纳加工中心一行人参观了纳米加工平台洁净间，全面了解了洁净间内的设备布局、用户管理、设备开放及安全管理等情况。纳米加工平台副主任时文华一同参加了后续的交流座谈，并就人员培养、项目申报、实验室安全制度建立等微纳加工中心关心的问题进行了详细解答。

  9 月 20 日上午，微纳加工中心一行来到爱发科真空技术（苏州）有限公司工厂。爱发科营业部部长何晓峰介绍了公司历史及当前发展现状，并带领众人参观了洁净车间。在后续交流中，就先进蒸发、刻蚀、溅射等工艺进行了详细介绍。

  通过此次参观交流，一方面学习到了兄弟单位的运营和管理经验，另一方面了解到了业内的先进发展方向，为微纳加工中心的管理优化和技术升级提供了重要参考。