2023年12月，清华大学实验室管理处公布了清华大学第三十六届大型仪器设备使用效益奖获奖名单。在大型仪器设备效益评价的基础上，经过院系审核推荐、专家函评、现场抽查以及专家组会评等环节，微纳加工中心共有12台设备获大型仪器设备使用效益奖，其中9台设备获三等奖、3台设备获二等奖。
获奖等级
|
设备名称
|
设备编号
|
申请人
|
二等奖
|
激光直写系统
|
17002190
|
尹长青
|
高速存储自动测试系统
|
18007126
|
王艳平
|
无液氮综合物性测量系统
|
21032513
|
邓美静
|
三等奖
|
电子束光刻机
|
1641494
|
韩英
|
氦氖镓三束微纳离子显微镜
|
A21000026
|
原剑
|
小型超低温试验箱
|
19016350
|
邓美静
|
EDA服务器
|
16014466
|
祝月红
|
高真空电子束蒸发系统
|
14030917
|
窦维治
|
倒装键合机
|
21018517
|
郑瑶
|
ICP刻蚀机-CL
|
13015109
|
李希有
|
国产溅射台
|
02011815
|
魏治乾
|
高分辨场发射扫描电镜
|
20009957
|
陈雅璐
|
“清华大学大型仪器设备使用效益奖”每学年度评选一次，评选范围为教学、科研、公共实验服务用，且单价原值10万元以上仪器设备，评审指标包括上学年度仪器设备在使用机时、人才培养、新功能开发、设备管理、开放服务、典型成果及特色等方面。2022年度，中心共有7台设备获大型仪器设备使用效益奖，随着开放服务的不断深入，微纳加工中心获得大型仪器设备使用效益奖的设备数量逐年增多。
