律回岁晚冰霜少，春到人间草木知。在这天地归春的时节，清华大学微纳加工中心迎来了一年一度的年度盛会。

微纳加工中心2023年度大会暨第五届“微纳世界”微观形貌表征大赛颁奖典礼于2024年3月1日在清华大学集成电路学院新楼（自强科技楼 西北楼）二层报告厅举行。会议由清华大学材料学院宋成教授主持，清华大学实验室管理处副处长屠中华、集成电路学院副院长姜汉钧、微纳加工中心专家委员会委员应邀出席，中心校内外用户、合作企事业单位及大赛获奖代表等约80人参加了本次大会。

宋成教授主持开幕仪式，向大家介绍了会议背景和与会嘉宾情况。姜汉钧副院长作大会开幕致辞。他表示中心的发展离不开用户支持，望各专家、用户尽可能提供宝贵意见和建议，进一步完善提升中心服务能力。

微纳加工中心2023年度工作报告

会上，微纳加工中心副主任伍晓明作了中心年度工作总结报告，介绍了中心2023年度的开放服务情况和实验室建设情况。

2023年，中心秉持“开放” “共享” “交叉”的服务原则，全年保持7天24小时开放运行，多项开放服务数据创历史新高。

在微纳加工与测试领域，中心年度开放服务总机时约13万小时，活跃用户876人，实验室进出约10万人次，支撑了17门本科生、研究生教学课程的开展。近年来，中心开放服务数据呈不断增长趋势。

在电子设计与仿真（EDA）领域，2023年开放服务总机时约92.5万人时，支撑了23门教学课程开展，累计服务用户2246人次。在Synopsys、Cadence、Mentor等EDA软件资源的基础上，2023年新增了华大九天、Ansys、合见工软等国内外EDA软件，设计与仿真能力进一步增强，为IC领域相关课程实践和科研提供了更强大、更全面的支撑。

目前，中心8英寸后道工艺研究能力已初步形成，拥有8英寸相关专用设备20余台套，涵盖光刻、刻蚀、镀膜、清洗等工艺步骤，有力支持多个科研重点项目及重大任务。

同时，中心在加强实验室专业队伍建设与设备设施建设的基础上，不断加强规范化与信息化建设，通过网站、微信公众号、工作简报、海报等方式宣传推广实验室开放服务、管理运行、新工艺开发及支部党建工作动态150余次。2023年，微纳加工中心网站访问量15.5万人次，来访IP数量6.6万个，线下累计接待参观千余人。

2023年，中心获得清华大学大型仪器设备使用效益奖12项（9台设备获三等奖、3台设备获二等奖）；实验室创新基金项目验收5项、立项2项，提升了研究探索前沿工艺技术与创新管理技术的能力。

邀请报告

本届大会邀请了北京航空航天大学张悦教授、北京大学吴燕庆研究员、清华大学姚鹏助理研究员作邀请报告，带来微纳加工领域的宝贵技术交流和经验分享。

Poster快闪与Poster颁奖

为给用户提供一个在微纳器件和集成电路等方面最新成果展示和技术交流的学术平台，鼓励用户研究探索科研成果，中心在大会上设立了用户成果展示和交流区，19位Poster作者以快闪的形式展示了课题组科研成果。大会嘉宾为获奖作者现场颁奖。

第五届“微纳世界”微观形貌表征大赛颁奖典礼

清华大学集成电路学院唐建石老师介绍了第五届“微纳世界”微观形貌表征大赛的组织举办情况。本届大赛由清华大学实验室管理处主办，清华大学微纳加工中心、北京大学微电子工艺实验室、中国科学院微电子研究所先导中心、北京理工大学微电子与智能微系统研究所、北京航空航天大学智能微纳公共创新中心、北京工业大学光电子技术教育部重点实验室、北京工业大学固体微结构与性能北京市重点实验室和中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心共同承办。

大赛收到校内外师生参赛作品139幅（技术组作品37幅、艺术组作品102幅），创历史新高。参赛师生来自承办单位所在的七家院校单位。经评审，技术组共评选出一等奖1名、二等奖5名、三等奖8名，艺术组共评选出一等奖1名、二等奖5名、三等奖6名。大会嘉宾为获奖作者颁奖。

作为大赛赞助商，蔡司公司赵生娜经理表示，五年来大赛规模越来越大、越来越专业，技术组和艺术组的作品都经过严格评审，获奖照片很有震撼力。希望随着大赛举办，能够吸引更多人关注微纳表征，进一步推进显微表征设备的深入交流和沟通。

中科科仪公司张子啸经理表示，中科科仪作为国内最早做扫描电镜和透射电镜的厂家，60年来持续聚焦电子光学技术及产业化。希望作为国产厂商能够在微纳加工的领域里做出更多贡献，也祝愿微观形貌表征大赛越办越好。

会上，几位获奖代表作了获奖作品报告，介绍了作品的表征难点、工艺难点与科学价值。蔡司显微镜业务拓展经理杨瑞分享了蔡司微纳加工解决方案最新进展。

微纳加工中心作为清华大学校级开放服务平台，坚持科研、育人并重，支持校内外用户在多领域、交叉学科进行学术前沿探索和关键技术攻关，是集成电路人才培养、学科建设、科技创新、学科交叉融合的重要实践基地。

当下，国家集成电路发展正值重要战略机遇期和攻坚期。风正时济，更当奋楫勇进。让我们顺势而为，不以山海为远；乘势而上，不以日月为限。凝“芯”聚力，共赴新程。