2026年9月，第十九届“清华大学实验技术成果奖”评选结果揭晓。微纳加工中心“基于国产装备的8英寸IGZO集成电路工艺教学实践平台”项目获得一等奖。

集成电路产业是国家战略命脉，国产装备的验证、推广与人才培养是破解“卡脖子”问题的关键。清华大学微纳加工中心作为国内领先的开放共享平台，以4英寸及以下兼容的工艺为主，与产业主流的8英寸、 12英寸线存在代差。针对集成电路领域教学与产业脱节、国产装备缺少配套实践生态等痛点，微纳加工中心依托专项支持，完成了8英寸国产实训装备的系统性采购与集成搭建，涵盖槽式清洗机、兆声清洗器、物理气相沉积（ PVD）设备、氧化扩散炉、金属刻蚀机、介质刻蚀机、深硅刻蚀机、化学机械抛光（ CMP）设备、手动探针台、四探针测试仪等系列微纳加工与测试仪器。中心以低温铟镓锌氧化物薄膜晶体管（ IGZO TFT）作为示范工艺载体，全力研发打通了8英寸全流程工艺链路，搭建起“国产装备—工艺开发—器件验证—教学实践”一体化的教学实践平台。该项目建立了符合市场需求的国产化芯片设计、制造全流程人才培养体系，为推广国产装备应用生态建设奠定了基础。

清华大学实验技术成果奖每两年评选一次，旨在激励实验室技术人员开展技术创新，持续提升实验教学水平与科研支撑能力。该奖项一等奖名额不超过十项，且不高于申报成果总数的15%。此次获奖，是微纳加工中心在实验技术成果研发、公共平台建设持续积累和不断创新的有力体现。