设备名称：真空互联-线性真空传输系统

设备型号：CUSTOMIZED

厂 家：Scienta Omicron GmbH

设备编号：21030323

设备分类：传输通道，真空互联，前沿基础研究服务

设备功能简介：

将多种薄膜生长设备与表征设备进行真空互联，保证样品在不同设备之间传送时其表面不发生氧化、沾污，不被外界大气环境所破坏。独立的样品处理室，可以对样品进行高温退火处理。样品转接腔，可以用于样品的翻转及真空的缓冲。

设备性能指标：

1、烘烤温度：150℃；

2、传输工具：磁力小车；

3、自动样品定位；

4、本底真空: 5×10^{– 10} Torr；

5、退火温度：最高可达1150℃ 。

设备物理位置：

微纳加工中心南区108实验室

设备预约方法：

1、由项目组负责人填写并提交申请书，实验操作者提交实验申请表。

说明：真空互联设备使用申请书和实验申请表请在清华大学微纳加工中心-表格下载中下载，填写后交给主管工程师。

2、“送样测试”或“委托加工”的，请联系主管工程师。

3、进入实验室实操设备的：

3.1 按实验室开放管理规定，成为实验室用户。

3.2 联系主管工程师，进行设备培训，并通过相关考核。填写完成微纳加工中心设备培训与考核记录单。

3.3 在清华大学大型仪器共享服务平台输入仪器名称，点击“找仪器”进行搜索,找到对应的仪器后进行“上机预约”。

工程师联系方式：

高兆艳：13051135063，zygao@mail.tsinghua.edu.cn