设备名称：扫描探针显微镜系统

设备型号：DIMENSION ICON

厂 家：BRUKER

设备编号：20004384

设备分类：表征与分析

设备功能简介：

三维形貌表征，导电原子力、静电力显微镜、功函数测试等电学性质表征及力学性质表征。

设备性能指标：

1、XYZ轴扫描范围为90μm*90μm*10μm；

2、XY方向分辨率为1nm左右（与探针选择相关），Z方向分辨率为0.1nm；

3、样品台尺寸200mm；

4、应用模块包括：智能扫描模式 ScanAsyst、接触模式 Contact Mode、轻敲模式 Tapping Mode、抬高模式 Lift Mode、相位成像 Phase Imaging、扭矩共振模式 TR Mode、磁力显微镜 MFM、静电力显微镜 EFM、开尔文探针力显微镜 KPFM、压电力显微镜 PFM、力曲线/力谱测量 Force Curve/Force Volume、扫描扩散电阻显微镜 SSRM、扫描电容显微镜 SCM、导电原子力显微镜 CAFM、扫描隧道显微镜 STM、纳米操纵/纳米刻蚀 Nano Manipulation/Nano Lithography。

设备物理位置：

微纳加工中心主超净间104实验室

设备预约方法：

未通过设备培训考核的用户请与工程师联系，预约使用；通过设备培训考核的用户可以在清华大学仪器共享服务平台上预约该设备。

主管工程师联系方式：

陈雅璐：62784044转216，chenyalu@mail.tsinghua.edu.cn