4月14日下午，由清华五道口TechHub与清华大学学生半导体制造协会合办的芯片制造实践教学活动（第一期）在清华大学微纳加工中心顺利举办。活动围绕“理论结合实践”的教学理念，助力学生深入理解芯片制造核心技术及工艺流程。

活动采用模块化教学+轮转实训的模式，20位学生分为两批四组进入微纳加工中心超净实验室，分模块学习光刻与刻蚀工艺。光刻模块由付玉霞老师讲解，从光刻设备原理到关键工艺流程，为学生系统介绍了微米/纳米级图形光刻核心技术；刻蚀模块由李希有老师讲解，重点介绍了干法刻蚀设备的功能与参数控制，并对设备在不同工艺中的差异进行了对比分析。

在现场教学中，同学们通过对两大工艺模块的学习，不仅了解了设备的工作原理与工艺特性，还在微纳加工中心工程师的一对一指导下完成了洁净间的标准化操作流程，深入体验光刻和刻蚀技术等核心工艺，进一步提升了工程素养与实践能力。