2024年12月，清华大学实验室管理处公布了清华大学第三十七届大型仪器设备使用效益奖获奖名单。在大型仪器设备效益评价的基础上，经过院系审核推荐、专家函评、现场抽查以及专家组会评等环节，微纳加工中心共有14台设备获大型仪器设备使用效益奖，其中1台设备获得一等奖，8台设备获得二等奖，5台设备获得三等奖，创历史新高。

关于激光直写系统：

激光直写系统是集成电路制造领域的核心光刻设备。设备全年使用总机时为4381.5小时，其中教学240小时、科研4000小时、社会服务138小时。2024年度支持科研经费超过8015万元，支持16项国家级重点科研项目、3篇三大检索、6篇核心期刊文章和8项专利。