微纳加工中心新增台式扫描电镜（生产厂家：Phenom World BV，型号：Phenom XL），并开放使用。技术指标如下：

（1） 形貌观察（SEM），包括二次电子（SED）和背散射电子探头（BED）。

（2） 分辨率：约7nm，常用放大倍数×50k以下。

（3） 有光学导航，支持自动对焦、拼图、伪3D上色等功能。

（4） 样品尺寸：直径≤100mm，高≤40mm。

（5） 样品台移动范围：X 100mm，Y 100mm。

（6） 真空模式：0.1Pa，10Pa，60Pa。换样时间30s左右。

（7） CeB₆ 灯丝，加速电压：2.5kV-20kV连续可调。

设备照片

典型倍数拍摄SEM图

如需进一步咨询或使用请联系陈老师：chenyalu@tsinghua.edu.cn。