为庆祝清华大学建校114周年，2025年4月26日至27日校庆日期间，清华大学微纳加工中心将举办实验室开放日活动，内容丰富多彩，欢迎各届校友、师生朋友交流参观~

清华大学微纳加工中心简介

清华大学微纳加工中心作为清华大学校级开放共享服务平台，服务学校奋力迈向世界一流大学前列的目标，瞄准世界微纳加工领域技术前沿，是致力于在国内外基础性、前瞻性、特色性原创成果方面实现重大突破的开放性科研教学平台。

中心以微纳尺度为特征，集设计、加工、测试为一体，具备高端先进的微纳加工测试环境，以材料和工艺技术作为独具特色的主攻领域，为集成电路、微电子、光电子、MEMS、电子信息、物理、化学、材料、光学、精密仪器、生物等多个学科的发展研究提供支撑。中心坚持科研和育人并重，探索学术前沿、新机理的验证、新材料和新器件基础研究，同时支持交叉学科。

微纳加工中心可提供包括真空互联系统、设计与仿真、器件加工工艺及在线测试、工艺集成、封装及集成、芯片测试分析等六大类服务。

2025年，微纳加工中心新超净实验室建设完成（设备即将搬迁），新址位于清华大学自强科技楼5号楼一层。新超净实验室面积约2000平方米，其中千级区1800平方米，百级区220平方米。

活动1 超净室参观讲解

活动内容：参观微纳加工中心超净实验室，了解中心实验室整体环境、设备资源和服务能力。

活动地点：清华大学集成电路学院（旧址）、清华大学自强科技楼5号楼一层

活动2 教学成果体验

活动内容：可亲自操作微纳加工测试设备，现场观察体验依托微纳加工中心开设的教学实验课程成果。

活动地点：清华大学集成电路学院（旧址）

活动3 中心支撑成果展

活动内容：微纳加工中心用户科研成果展，了解由中心支撑的累累硕果。

活动地点：清华大学自强科技楼5号楼一层

活动4 “微纳世界”微观形貌表征大赛获奖作品展

活动内容：第六届“微纳世界”微观形貌表征大赛获奖作品展，一起来窥探奇妙而多彩的微观世界吧~

活动地点：清华大学自强科技楼5号楼一层

集成电路高精尖创新中心芯片测试实验室简介

集成电路高精尖创新中心芯片测试实验室是国际一流水平的开放共享技术平台，总建筑面积约为800平方米，其中十万级洁净测试环境500平方米，拥有超大规模集成电路测试系统、高速互连测试系统、毫米波在片分析系统、综合物性分析系统、高速存储器测试系统等先进测试设备与良好的测试环境。实验室同时引进经验丰富的专业工程师团队参与设备管理，提供从国际一流仪器设备到国际一流芯片测试服务与专属测试方案的全方位技术支撑。

2021年8月，测试实验室顺利通过“中国合格评定国家认可委员会”（英文缩写：CNAS）评审，获颁“实验室认可证书”。

活动1 中心展厅参观

活动内容：参观集成电路高精尖创新中心展厅，了解中心发展状况和科研成果。

活动地点：北京市海淀区荷清路3号荷清大厦A座一层

活动2 实验室参观 

活动内容：参观集成电路高精尖创新中心芯片测试实验室，了解实验室资源状况和服务能力。

活动地点：北京市海淀区荷清路3号荷清大厦A座一层

温馨提示

对于不便现场参观的朋友，微纳加工中心开通了实验室VR线上参观，大家可通过清华大学微纳加工中心网站（http://tnf.ime.tsinghua.edu.cn）首页【中心概况】→【参观实验室】版块，对微纳加工中心超净间、封装间、切割间，以及高精尖中心芯片测试实验室等各实验室进行线上VR参观。

地图导航

清华大学微纳加工中心

开放时间：2025年4月26日-27日

地址：北京市海淀区清华大学集成电路学院（旧址）

新址：北京市海淀区清华大学自强科技楼5号楼一层

集成电路高精尖创新中心芯片测试实验室

开放时间：2025年4月26日-27日

地址：北京市海淀区荷清路3号荷清大厦A座一层