主讲题目

ALD在先进制程中的应用

活动时间

2024年7月26日（周五） 13:00-15:30

活动地点

清华大学自强科技楼2号楼三层 2-325

举办单位

清华大学微纳加工平台党支部

内容简介

本报告对ALD工艺在先进逻辑、DRAM和3D-NAND等器件中的相关应用进行介绍。

主讲嘉宾

史小平，半导体器件及薄膜材料方面的技术专家。曾在南开大学及中国科技大学研究生院学习。2015年归国，任职于北京北方华创微电子装备有限公司，担任立式炉事业部及工艺技术中心CTO（VP级），负责相关先进工艺的研发及整合。归国前曾在荷兰Crystal，美国BLL Microelectronics及比利时的imec微电子研发中心等多家单位任职，具有多年的工艺研发及整合经验。在各类国际顶级期刊和会议发表80余篇学术论文，多次受邀在国际学术会议上作报告, 担任多个国际会议的专家委员会成员；入选“国家海外人才计划”，北京市“海聚计划”，及北京经济技术开发区“亦麒麟”人才等等。

讲座海报

活动背景：微纳加工平台党支部2024年“攀峰工程”（二）特色活动

为进一步推动党建工作与事业发展深度融合，以高质量党建引领高质量发展，清华大学微纳加工平台党支部在2023年“攀峰工程”特色活动获评优秀成果的良好基础上，继续深入推进高质量党建引领高培训向纵深发展，于2024年申请了《开展教职工专业交流与业务能力提升培训，坚持党建与事业发展“一融双高”，为中国 特色世界一流大学发展保驾护航（第二期）》特色活动，并获批立项。活动通过“走出去”、“请进来”进行政治理论学习与业务交流，通过交流共进、凝聚“芯”力，提升微纳加工中心和集成电路高精尖创新中心服务集成电路全产业链人才实训和科研支撑能力。