芳菲四月，

风物成诗。

生机盎然的清华园，

迎来了113周岁生日。

为喜迎校庆，

2024年4月27日至28日，

清华大学微纳加工中心举办实验室开放日活动，

欢迎各位师生、校友参观交流~

开放实验室1  清华大学微纳加工中心

清华大学微纳加工中心作为清华大学校级开放共享服务平台，服务学校迈向世界顶级一流大学前列的目标，瞄准世界微纳加工领域技术前沿，是致力于在国内外基础性、前瞻性、特色性原创成果方面实现重大突破的开放性科研和教学实践育人平台。

实验室超净面积约1200平方米，总体为千级（其中包含百级超净间100平方米）。中心以微纳尺度为特征，集设计、加工、测试为一体，拥有高端先进的微纳加工测试环境，具备氧化、化学气相沉积、物理气相沉积、化学机械抛光、光刻、电子束光刻、湿法刻蚀、干法刻蚀、封装与集成、检测与分析等全流程工艺能力。

微纳加工中心2015年被认定为清华大学校级平台，2016年纳入国家“双创”首批示范基地，2018年获批成为国家集成电路“产教融合”创新平台。

参观地点：清华大学集成电路学院一层 | 开放时间：2024/4/27-2024/4/28

开放活动1 实验室参观讲解

开放活动2 学生实验课成果体验

开放活动3 中心支撑成果展

开放活动4 “微纳世界”微观形貌表征大赛作品展

说明：微纳加工中心在新楼的实验室初建完成（设备尚未搬迁），感兴趣的师生、校友可前往参观。

新楼实验室地点：清华大学自强科技楼5号楼（裙楼）一层

开放实验室2  集成电路高精尖创新中心芯片测试实验室

集成电路高精尖创新中心芯片测试实验室是国际一流水平的开放共享技术平台，总建筑面积约为800平方米，其中十万级洁净测试环境500平方米，拥有超大规模集成电路测试系统、高速互连测试系统、毫米波在片分析系统、综合物性分析系统、高速存储器测试系统等先进测试设备与良好的测试环境。实验室同时引进经验丰富的专业工程师团队参与设备管理，提供从国际一流仪器设备到国际一流芯片测试服务与专属测试方案的全方位技术支撑。

2021年8月，测试实验室顺利通过“中国合格评定国家认可委员会”（英文缩写：CNAS）评审，获颁“实验室认可证书”。

参观地点：北京市海淀区荷清路3号荷清大厦A座一层 | 开放时间：2024/4/27-2024/4/28

开放活动 中心展厅和实验室参观讲解

温馨提示

对于不便现场参观的朋友，微纳加工中心开通了实验室VR线上参观，大家可通过清华大学微纳加工中心网站（http://tnf.ime.tsinghua.edu.cn）首页【中心概况】→【参观实验室】版块，对微纳加工中心超净间、封装间、切割间，以及高精尖中心芯片测试实验室等各实验室进行线上VR参观。