近日，微纳加工中心新增一台原子力显微镜（型号：Bruker DIMENSION ICON ）。该系统可以实现高精度三维形貌表征，XY方向分辨率为1nm（与探针选择相关），Z方向分辨率为0.1nm。样品台尺寸为200mm。

除形貌表征外，系统还配备DCUBE-PFM、CR-PFM以及SS-PFM模块，可在共振频率下实现off-line PFM信号采集，可以获得更好的蝴蝶曲线，并同时实现压电效应和力学性质的矩阵式表征；配备接触共振模块，可用于硬样品（杨氏模量1 GPa-300 GPa）的模量表征。

SSPFM数据结果