4月29日至30日,在清华大学112周年校庆之际,微纳加工中心举办了实验室开放交流活动,中心各实验室全面开放,累计接待师生、校友来访参观百余人次。
为使来访者更直观、深入地了解集成电路工艺技术,除了参观讲解,中心在今年的实验室交流活动中特别增加了实验演示环节。一个是使用半导体参数测试仪和探针台测试MOS管的特性曲线;另一个是利用心率采集模块,将采集到的心跳信号转化为电信号,进而控制MEMS器件,并使用显微镜来观察MEMS器件的机械运动。其中,MOS管和MEMS器件均为中心开设的《微纳电子工艺实验》课程中学生制备的器件。
交流结束后,中心为来访者送上“纳米世界”微观形貌表征大赛纪念台历一份,使广大校友了解、关注“纳米世界”大赛。