近日，清华大学微纳加工中心的氦氖镓三束微纳离子显微镜（厂家：Zeiss；型号：Orion NanoFab）完成验收并开放使用。该设备通过会聚并控制离子束对样品表面进行扫描，可以实现微纳米尺度的高分辨成像和精密加工。该套系统配置了氦、氖、镓三种离子束，分别对应于10nm、100nm和1000nm的加工尺寸。此外，该系统还配置了气体注入模块，可以使用离子束诱导沉积金属和绝缘介质材料。
氦氖镓三束微纳离子显微镜是集成电路科研领域的高精尖设备，可广泛应用于集成电路、材料科学、生命科学等领域。
氦氖镓三束微纳离子显微镜性能指标: ◇ 氦离子束成像分辨率优于0.5nm，加工精度优于10nm； ◇ 氖离子束成像分辨率优于1.0nm，加工精度优于30nm； ◇ 镓离子束成像分辨率优于2.0nm，加工精度优于50nm； ◇ 配置了气体注入系统模块，可以使用离子束诱导沉积Pt和W等金属材料； ◇ 配置了气体注入系统模块，可以使用离子束诱导沉积SiO2等绝缘介质材料。 |
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培训合格具备独立上机资格的用户可通过清华大学仪器共享服务平台预约使用该设备（仪器名称：氦氖镓三束微纳离子显微镜；仪器编号：A21000026；设备负责人：原剑、尹长青；联系电话：010-62781090）。
