微纳加工中心拟定于2022年10月25日(周二 )下午14:00-15:30组织nb5型电子束光刻机的样品进样和取样操作方法培训。
具体安排:电子束光刻机的进样和取样操作方法
面向对象:已经完成清华大学微纳加工中心安全培训,并且考核合格的用户
培训地点:清华大学微纳加工中心办公室(105)和小光刻间(108-1)
考核时间:2022年10月25日,15:30-16:00
考核方式:独立完成进样和取样操作
考核内容:检查电子束光刻机状态,进样,取样,获取样品位置坐标
有意向培训的用户请在用户群中回复,或发邮件至 hanying@mail.tsinghua.edu.cn。本次报名截止时间为10月24日,报名时请发送邮件内容:参加10月25日电子束光刻机的进样和取样操作方法培训+姓名。
培训时请携带清华大学微纳加工中心网站“表格下载”中的《微纳加工中心设备培训与考核记录单》。设备名称:电子束光刻机,设备编号:16041494,设备培训人:韩英。用户可在网站中搜索设备名称了解详情。记录单上需要导师签字或直属领导签字。
本次培训费用按照设备讲解时间+用户实际使用机时收费。
疫情防控期间,校外用户需要提前一天申请入校。
微纳加工中心
2022年10月23日