微纳加工中心拟定于2022年10月23日（周日）下午13:00-14:00组织nb5型电子束光刻机的套刻使用方法培训。

具体安排：主场拼接异常的工艺优化

培训地点：清华大学微纳加工中心105办公室

考核时间：2022年10月23日，15:00-16：00

考核方式：独立编写套刻job

考核内容：样品旋涂电敏感抗试剂，样品固定，样品导电性与束流关系分析，曝光版图优化

有意向培训的用户请在用户群中回复，或发邮件至 hanying@mail.tsinghua.edu.cn。本次报名截止时间为10月22日，报名时请发送邮件内容：参加10月23日nb5型电子束光刻机的套刻使用方法培训+姓名。

培训时请携带清华大学微纳加工中心网站“表格下载”中的《微纳加工中心设备培训与考核记录单》。设备名称：电子束光刻机，设备编号：16041494，设备培训人：韩英。用户可在网站中搜索设备名称了解详情。记录单上需要导师签字或直属领导签字。

本次培训费用按照设备讲解时间+用户实际使用机时收费。

疫情防控期间，校外用户需要提前一天申请入校。

微纳加工中心

2022年10月19日