设备名称：氧分压管式炉

设备型号：OTF-1200X-5S-3Z-103G

厂 家：合肥科晶

设备编号：

设备分类：薄膜

设备功能简介：

氧分压管式炉可对特殊光刻胶/PI等光敏材料进行固化，具备O2、N2气体氛围。

设备性能指标：

1.最大样品尺寸4英寸；

2.最高温度1000℃，推荐升温速率≤10℃/min.；

3.氧分析仪量程：0-1000ppm。

设备位置：

微纳加工中心主超净间 自强科技楼5101实验室

设备预约方法：

请与该设备工程师联系使用

工程师联系方式：

曹秉军：13910803625,caobj@mail.tsinghua.edu.cn