设备名称：氢气退火炉

设备型号：OTF-1200X-5S-3Z-103G

厂 家：合肥科晶

设备编号：

设备分类：薄膜

设备功能简介：

氢气管式炉可消除样品铝硅之间较大的接触电阻以获得良好的欧姆性电接触。

设备性能指标：

1.最大样品尺寸4英寸；

2.最高温度1000℃，推荐升温速率≤10℃/min.；

3.具备N2、H2、Ar气体氛围。

设备位置：

微纳加工中心主超净间 自强科技楼5101实验室

设备预约方法：

请与该设备工程师联系

工程师联系方式：

曹秉军：13910803625,caobj@mail.tsinghua.edu.cn