设备名称：电子束蒸发薄膜沉积系统

设备型号：KJLCAXXIS

厂 家：KurtJ.LeskerCompany

设备编号：08017390

设备分类：薄膜

设备功能简介：

电子束蒸发沉积系统，目前可蒸发Al和Nb薄膜，粘附性和致密性均良好。

设备性能指标：

1.蒸发材料Al、Nb；

2.真空度可达到6E-8Torr量级；

3.可实现4英寸及以下尺寸的硅片的蒸发镀膜，4英寸wafer上厚度均匀性<10%；

设备位置：

微纳加工中心主超净间 自强科技楼5101实验室

设备预约方法：

通过清华大学大型仪器共享服务平台在线预约使用

工程师联系方式：

窦维治：13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn

陈炜：13611319731,weichen@tsinghua.edu.cn